激光半焦斑边缘检出技术研究

本文介绍了一种新的边缘定位方法激光半焦斑边缘检出法。这种方法综合运用了多种技术，如自适应跟踪补偿技术、激光调制和调制幅值补偿技术、微分定点采样技术以及步进电机步距细分技术等，从而达到了较高的边缘检出精度。文章还给出了激光半焦斑边缘检出的理论模型和计算机仿真结果，并介绍了一个采用激光半焦斑边缘检出技术的测径系统。  

RESEARCH ON TECHNOLOGY AND SYSTEM FOR ON-LINE MEASUREMENT OF SURFACE

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