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针对金属类MEMS机构可靠性水平较低且没有标准化的可靠性试验方法的现状,提出将强化试验方法引入金属类MEMS机构的可靠性研究中.确定强化试验的内容为温度循环、随机振动和冲击试验,并分别设计试验剖面.选取MEMS惯性开关作为典型器件开展试验研究,试验结果表明,所设计的可靠性试验能够有效激发MEMS机构的潜在缺陷,温度应力易引起MEMS器件层间产生疲劳效应,而振动和冲击应力则易引发器件结构性损坏;环境应力对MEMS机构具有疲劳累积效应,经历较多试验类型的样本较经历较少试验类型的样本更容易失效;惯性开关的主要失效模式是分层和变形,这2种失效模式在金属类MEMS机构中具有代表性. 相似文献
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冯建伟 《武警工程学院学报》2010,(2):25-27
目前非致命电击武器越来越普及,而关于该类武器生理效应方面的研究还比较缺乏。结合现有电击武器的电镖动能和电击对人体的作用进行分析研究,得出相应的非致伤范围,对新型电击武器的开发和应用具有一定的指导作用。 相似文献
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