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随着对结构化超精密部件需要的不断增加,出现了加工具有高的表面光洁度以及形状精度的非旋转对称镜片的新技术。根据现有的快速刀具伺服系统,研制出了最大行程为16mm的新型快速刀具伺服系统(图1)。以前的快速刀具伺服系统采用了弹性导向机构,而现在的快速刀具伺服系统则采用了空气轴承,并且用了一个高频直线电机来驱动这个系统。由于采用了一个新的功率放大器,使得这个系统能够最高达到100Hz的频率以及1mm的振动幅度。这篇文章给出了这种新型快速刀具伺服系统的技术细节。 相似文献
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本文主要讨论如何通过定位控制改善亚微米级定位装置的静态和动态特性。主要讨论能够实现亚微米级的定位精度、重复精度和无超调的快速暂态响应的控制策略。在亚微米定位的工作过程中,当条件(进给率、摩擦等)发生改变时,保持定位装置性能稳定是极为必要的。本文给出采用PI-D+前馈控制和自适应增益调整实现的实验结果。 相似文献
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