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| 作者单位： | |
| 摘 要： | 高纯三氟化氮:"国家重点新产 品"榜上有名 日前,经科学技术部、商务部、 国家质量监督检验检疫总局、国家 环境保护总局等部门评审,718研究 所研制生产的高纯三氟化氮已列入 "国家重点新产品"项目。 高纯三氟化氮作为集成电路的 |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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