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| 微机电系统技术的实际应用——微型仪器 | |
| 作者姓名： | 丁衡高 袁祖武 |
| 作者单位： | 国防科技大学总装备部,北京,100034 |
| 摘 要： | 微机电系统被普遍认为是一项面向21世纪的可以广泛应用的新兴技术,作为其实际应用的微型仪器,具有传统仪器无可比拟的优势.从微型仪器入手,分别介绍了其概念、特点和市场应用,并在最后阐述了对微型仪器的几点认识. |
| 关 键 词： | 微机电系统 微型仪器 |
| 收稿时间： | 1999-12-28 |
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