首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
   检索      

离子注入技术在核辐射探测器中的应用
引用本文:欧阳茂解.离子注入技术在核辐射探测器中的应用[J].防化研究,2004(1):21-25.
作者姓名:欧阳茂解
摘    要:主要介绍了离子注入新技术的工作原理,以及在核辐射探测器中的应用;离子注入技术条件(包括加速电压、注入剂量、注入时间与退火温度等)选取;用离子注入技术制备的核辐射探测器的特性比较。

关 键 词:离子注入技术  核辐射探测器  工作原理  制备工艺  半导体掺杂技术
本文献已被 维普 等数据库收录!
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号