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| 平面二自由度并联执行机构的设计与实现 | |
| 作者姓名： | 吴学忠 吴宇列 李圣怡 |
| 作者单位： | 国防科技大学机电工程与自动化学院,湖南 长沙 410073;国防科技大学机电工程与自动化学院,湖南 长沙 410073;国防科技大学机电工程与自动化学院,湖南 长沙 410073 |
| 基金项目： | 海外青年学者合作研究基金! (5 0 0 2 95 0 1) |
| 摘 要： | 介绍了作者研制的一种用于半导体制造设备上的x-y并联执行机构。通过增加一个冗余运动链 ,使得该机构在工作空间内没有奇异点。该机构的最大特点是可以大大减少现有机构的体积 ,并具有较高的刚度 ,可以在高速运动条件下具有较高的运动精度和跟踪性能。实验结果表明 ,该系统的轨迹跟踪误差均低于 0 5mm。 |
| 关 键 词： | 并联执行机构 奇异性 冗余 |
| 文章编号： | 1001-2486(2001)01-0040-04 |
| 收稿时间： | 2000-10-12 |
| 修稿时间： | 2000-10-12 |
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