混合物薄膜折射率与膜孔洞率关系研究

本文对TiO_2和Ta_2O_5混合膜进行了单源共蒸发实验研究。在实验结果的基础上,提出了一个拟合TiO_2、Ta_2O_5混合膜系孔洞率的经验公式,并对混合膜的折射率的计算过程进行了改进。结果表明:理论计算与实验数据符合较好;混合物薄膜可能形成孔洞率较小的膜层,从而导致混合物薄膜折射率随混合百分比的变化曲线出现峰值。