| 单晶硅反射镜激光能量吸收系数与衬底表面质量的关联 |
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| 作者姓名： | 田野 戴一帆 石峰 彭小强 韩凯 朱志武 万稳 |
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| 作者单位： | 国防科学技术大学 机电工程与自动化学院,国防科学技术大学 机电工程与自动化学院,国防科学技术大学 机电工程与自动化学院,国防科学技术大学 机电工程与自动化学院,国防科学技术大学 光电科学与工程学院,国防科学技术大学 机电工程与自动化学院,国防科学技术大学 机电工程与自动化学院 |
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| 基金项目： | 光刻物镜光学零件纳米精度制造基础研究 |
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| 摘 要： | 高能激光系统中,单晶硅基底反射镜的能量吸收系数是影响系统性能的关键指标。衬底加工质量对镀膜后元件激光能量吸收系数影响显著。通过测试不同衬底粗糙度、划痕密度的单晶硅反射元件,分析衬底表面典型加工特征(粗糙度、划痕)对激光能量吸收系数的影响规律,认为粗糙度与吸收系数正相关,粗糙度均方根从0.668nm降低至0.345nm会使吸收系数降低28.0%。少量划痕对吸收系数的直接影响并不明显,吸收系数均值变化在3.1%以内。但表面划痕会诱发激光损伤,划痕密度较大时会引起后续能量吸收持续增大,辐照400s后,吸收系数较辐照100s时增大18.3%。
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| 关 键 词： | 单晶硅 激光能量吸收系数 衬底表面质量 |
| 收稿时间： | 2015-08-26 |
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