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| 长方体类光学元件形位误差高精度测量方法 | |
| 作者姓名： | 郭蒙 戴一帆 彭小强 铁贵鹏 |
| 作者单位： | 国防科学技术大学 机电工程与自动化学院,国防科学技术大学 机电工程与自动化学院,国防科学技术大学 机电工程与自动化学院,国防科学技术大学 机电工程与自动化学院 |
| 基金项目： | 熔石英紫外光学元件加工表面特性及其强光辐照 |
| 摘 要： | 如何实现长方体元件光学面形位误差的高精度测量以及怎样利用测量数据对这些误差进行修正加工是制造过程中的主要问题。提出一种基于波面干涉的长方体类光学元件形位误差测量方法,借助大口径干涉仪和高精度端齿盘搭建测量系统,实现了长方体类光学元件1μm/400mm精度的平行度和垂直度测量,获得了高精度的形位误差综合分布数据,并利用磁流变、小磨头数控抛光等现代光学加工手段实现了此类光学元件的高精度加工。 |
| 关 键 词： | 长方体类光学元件 形位误差 平行度误差 垂直度误差 修形加工 |
| 收稿时间： | 2015-10-28 |
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