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| 离子束加工误差对散射损失的影响研究 | |
| 作者姓名： | 吴冬良 戴一帆 王贵林 周林 焦长君 |
| 作者单位： | 国防科技大学机电工程与自动化学院,湖南,长沙,410373 |
| 基金项目： | 新世纪优秀人才计划项目(NCET),国家自然科学基金 |
| 摘 要： | 离子束加工(Ion Beam Figuring,IBF)去除函数对加工残差具有重要的影响,而加工残差引起的表面散射则导致光学性能发生变化.为了减小加工残差对光学性能的影响,利用基于CCOS成形原理的离子束加工仿真程序对光学镜面进行修形,分析不同去除函数宽度对散射损失(Ratio of Scattering Loss,RSL)指标的影响.通过研究可知,随着去除函数宽度的减小,加工残差对散射损失的影响越来越小.因此,根据加工残差对RSL指标的影响程度以及RSL指标要求,可以合理选择去除函数宽度,从而在满足面形精度的同时,优化加工工艺. |
| 关 键 词： | 去除函数 加工残差 散射损失比 离子束加工 |
| 收稿时间： | 2009-05-12 |
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