| 低成本低损耗微波集成电路新工艺-FeCr Al-Cu-Cu-Au 金属系统 |
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| 引用本文： | 彭传才,金昭廷,谢淑云.低成本低损耗微波集成电路新工艺-FeCr Al-Cu-Cu-Au 金属系统[J].国防科技大学学报,1982(2):71-78. |
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| 作者姓名： | 彭传才 金昭廷 谢淑云 |
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| 摘 要： | 本文提出了FeCrAl—Cu—Cu—Au 金属系统制造微波集成电路的新工艺。实验研究表明,该金属系统具有一系列优良的物理特性,用它制造微波集成电路不仅性能优良,而且成体很低。
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| 收稿时间： | 1982/2/8 0:00:00 |
A New Technology of Microwave Integrated Circuit with Low Cost and Low Loss-Metal System FeCrAl-Cu-Cu-Au |
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| Peng Chuancai,Jin Zhaoting and Xie Shuyun.A New Technology of Microwave Integrated Circuit with Low Cost and Low Loss-Metal System FeCrAl-Cu-Cu-Au[J].Journal of National University of Defense Technology,1982(2):71-78. |
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| Authors: | Peng Chuancai Jin Zhaoting and Xie Shuyun |
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