| 溶胶—凝胶法制备SiO2气凝胶薄膜溶胶粘度的研究 |
| |
| 引用本文： | 王娟,张长瑞,冯坚.溶胶—凝胶法制备SiO2气凝胶薄膜溶胶粘度的研究[J].国防科技大学学报,2003,25(6):30-34. |
| |
| 作者姓名： | 王娟 张长瑞 冯坚 |
| |
| 作者单位： | 国防科学技术大学航天与材料工程学院,湖南,长沙,410073 |
| |
| 基金项目： | 国家部委预研基金，41312040307， |
| |
| 摘 要： | 用低介电常数介质薄膜代替传统的SiO2薄膜是减小ULSI中互连延迟、串扰和能耗的有效方法.SiO2气凝胶薄膜因具有低介电常数、低密度、高热稳定性等性能而成为ULSI中金属间介质的理想材料.以正硅酸乙酯为原料,采用酸/碱两步溶胶-凝胶法结合匀胶和超临界干燥等工艺在硅片上成功制备了SiO2气凝胶薄膜.研究了不同配比的SiO2溶胶粘度随时间的变化;确定了适于匀胶的溶胶的粘度范围为9～15mPa*s;发现溶胶粘度在9～15mPa*s的时间随溶剂异丙醇(IPA)用量的增加和NH4OH的减少而延长.
|
| 关 键 词： | SiO2气凝胶薄膜 粘度 溶胶-凝胶 低介电常数 |
| 文章编号： | 1001-2486(2003)06-0030-05 |
| 收稿时间： | 5/8/2003 12:00:00 AM |
| 修稿时间： | 2003年5月8日 |
Viscosity of SiO2 Sol for Preparing SiO2 Aerogel Film by Sol-gel Method |
| |
| WANG Juan,ZHANG Changrui and FENG Jian.Viscosity of SiO2 Sol for Preparing SiO2 Aerogel Film by Sol-gel Method[J].Journal of National University of Defense Technology,2003,25(6):30-34. |
| |
| Authors: | WANG Juan ZHANG Changrui and FENG Jian |
| |
| Institution: | College of Aerospace and Materials Engineering, National Univ. of Defense Technology, Changsha 410073, China;College of Aerospace and Materials Engineering, National Univ. of Defense Technology, Changsha 410073, China;College of Aerospace and Materials Engineering, National Univ. of Defense Technology, Changsha 410073, China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | SiO_2 aerogel film viscosity Sol-gel low dielectric constant |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《国防科技大学学报》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《国防科技大学学报》下载免费的PDF全文 |
