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低阶像差校正的压电驱动变形镜测试与仿真优化
引用本文:范占斌,戴一帆,宁禹,关朝亮,刘俊峰,付天洋.低阶像差校正的压电驱动变形镜测试与仿真优化[J].国防科技大学学报,2018,40(4):106-111.
作者姓名:范占斌  戴一帆  宁禹  关朝亮  刘俊峰  付天洋
作者单位:国防科技大学智能科学学院;超精密加工湖南省重点实验室;国防科技大学前沿交叉学科学院
基金项目:国家自然科学基金资助项目(91323302,51405151,61378065,61505257); 国家重点研究发展计划资助项目(2016YFB1102304)
摘    要:光纤激光器输出光束带有波前畸变,制约了光学系统的性能和工作效率。搭建实验系统分析了超连续谱光纤激光器系统输出光束的像差特性,不同波长的滤波片测试像差均以离焦为主。根据这一特点制备了3单元单层横向压电驱动变形镜样镜,并进行特性测试。变形镜影响函数有限元仿真和实测吻合度可达77%以上,一阶谐振频率12. 1 k Hz。以实际像差为对象进行闭环仿真,校正精度达到0. 77。另外,从校正精度及行程两个方面对变形镜进行了有限元优化仿真。结果 9单元变形镜(有效口径7. 5 mm)校正精度达到0. 9左右。镜片与压电片厚度比存在最优值约0. 3,行程可提升60%以上。

关 键 词:光纤激光器  横向压电驱动变形镜  闭环仿真  仿真优化
收稿时间:2017/5/18 0:00:00
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