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| 现代微机电技术的研究与应用现状 | |
| 引用本文： | 赵晓光.现代微机电技术的研究与应用现状[J].国防技术基础,2002(6). |
| 作者姓名： | 赵晓光 |
| 摘 要： | 微机电技术是20世纪60年代发展起来的一项新兴技术,它将微型机械技术和微电子控制技术相结合,产生了以微型化、集成化和电子化为主要特征的微机电系统。微机电系统不但在民用领域具有巨大的应用潜力,而且其军用前景也相当看好并在不断拓展,预计未来几年这种器件将如同现在的微处理器一样在军事装备中得到普及。 一、制导、导航和控制 以传统机械、环形激光、光纤陀螺和加速度计为基础的惯性测量装置,在炮弹发射时会因震 |
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