微波集成电路技术及工艺的进展

七十年代以来，由于各种微波半导体器件迅速发展，而且微带电路逐步成熟，使得各类微波集成电路的研制，生产和应用，在国防建设，微波通信以及仪器等方面愈来愈显得重要。本文将就薄膜ＭＩＣ制作中涉及的无源器件中的薄膜基片、导电带及薄膜阻容元件的发展等方面作一简述。