微光栅加速度计温度控制研究

微光栅加速度计凭借着极高灵敏度和分辨率等优势成为近几年的研究热点，但外界环境温度的变化会影响其输出精度。为优化其温度特性，提出了一种两级内外温控系统。通过介绍微光栅加速度计的基本原理，分析了由于半导体激光器和MEMS敏感芯片的温度特性对其造成的影响。针对加速度计设计了温控电路，对其搭载两级内外温控系统，使其工作温度保持恒定，最后对该系统进行了实验测试。实验结果表明：在该温控系统下，加速度计的工作温度控制精度可达±0.02℃。对于加速度计的噪声性能而言，在0.01～10 Hz频段，相较于未加温控系统的加速度计，整体信噪比提高了20 dB。