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| 温度对中频磁控溅射沉积金属锆膜的影响 | |
| 引用本文： | 高毅,李兰,刘际伟,徐金江.温度对中频磁控溅射沉积金属锆膜的影响[J].兵器装备工程学报,2020,41(10). |
| 作者姓名： | 高毅 李兰 刘际伟 徐金江 |
| 作者单位： | 中国工程物理研究院 化工材料研究所,四川绵阳 621999;中国工程物理研究院 化工材料研究所,四川绵阳 621999;中国工程物理研究院 化工材料研究所,四川绵阳 621999;中国工程物理研究院 化工材料研究所,四川绵阳 621999 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 中频磁控溅射 锆膜 氮化锆 |
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