MEMS技术发展现状及未来发展趋势北大核心 |
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引用本文: | 秦雷谢晓瑛李君龙.MEMS技术发展现状及未来发展趋势北大核心[J].现代防御技术,2017(4):1-5. |
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作者姓名: | 秦雷谢晓瑛李君龙 |
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作者单位: | 1.北京电子工程总体研究所100854; |
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摘 要: | MEMS技术作为一门多学科高度交叉的前沿学科领域,在近些年来得到迅速发展,在航空、航天、生物技术等领域都有广泛的应用。该技术可实现优质高产低耗,大大提高系统的可靠性和智能化功能,已经成为电子领域活跃的发展方向之一。论述了MEMS微系统技术的重要性,从微感知与微控制、微流动控制、微惯性测量装置、微型飞行器、可穿戴和可植入式装备、纳机电谐振器、扫描隧道显微镜等七大方面分别论述MEMS微系统技术发展现状,并对该技术进行了展望,以期对未来发展并应用该技术具有借鉴意义。
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关 键 词: | 微机电系统 微感知 微控制 微型飞行器 纳机电系统 惯性测量装置 |
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