|
|||||
|
|
| 相位光栅干涉计 | |
| 引用本文： | Bueh.,IK,王贵林.相位光栅干涉计[J].国防科技,1997,18(3):22-24. |
| 作者姓名： | Bueh. IK 王贵林 |
| 作者单位： | Guidance Control Systems Ltd，Clockhill Wharfe，Warks，UK，Taylor Hobson Ltd，Leicester，UK |
| 摘 要： | Taylor Hobson公司最近已将相位光栅干涉计(PGI)投放市场。这种度量计目前的测量范围和分辨率分别为10mm和13um,它代表了计量技术的重大突破。在此将讨论PGI计的工作方式及其主要性能。 |
| 关 键 词： | 相位光栅干涉仪 干涉仪 PGI |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |