军用微型机器人及其关键技术

现代科学技术的发展,特别是微细加工技术和微机电系统的飞速发展为微型机器人的出现奠定了技术基础。微型机器人并非现有机器人在尺寸上的简单微型化,而是指以微机电系统技术(MEMS)为依托,具有微小尺寸结构,可进行微细操作的机器人。微型机器人的最基本的部件是微型机电系统,它是将微型传感器、微型驱动器、微型开关、微型电机、微型电子器件有机地组合在一起,用特殊材料封装而成的。