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| 用于高分辨率领域的线性角编码器 | |
| 引用本文： | Spies.,A,吴书友.用于高分辨率领域的线性角编码器[J].国防科技,1997,18(3):87-89. |
| 作者姓名： | Spies. A 吴书友 |
| 作者单位： | DR.JOHANNES HEIDENHAIN GmbH，Traunreut，Germany |
| 摘 要： | 在超精密测量和控制技术中,越来越要求测量步长达1nm,角分辨达0.001角秒。为达到如此高的分辨率,测量标准需有很小的栅格周期,只有用干涉方法才能扫描到它。本文通过一个信号周期为128nm、分辨率为1nm的线性角编码器,介绍了不同扫描原理的各种结果。 |
| 关 键 词： | 干涉仪 线性角编码器 分辨率 光栅干涉仪 测量 |
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