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| 对多轴机床进行快速几何校正的自调整激光干涉仪 | |
| 引用本文： | Chen.,JS,王贵林.对多轴机床进行快速几何校正的自调整激光干涉仪[J].国防科技,1997,18(3):19-21. |
| 作者姓名： | Chen. JS 王贵林 |
| 作者单位： | Department of Mechanical Engineering，National Chung Cheng University，Chia-Yi，Taiwan |
| 摘 要： | 软件容量误差补偿技术被证明可以有效地提高机床精度。但是,多轴机床的容量误差补偿需要事先知道机床几何误差的详细情况,这种几何误差常用激光干涉仪进行校正。商用激光干涉仪,如HP5529A,由于它的每种误差都需要采用不同的光学装置,因而十分昂贵;并且误差校正前要为光学装置和手动激光路线调整进行繁多的准备工作,所以采用商用干涉仪非常费时。除此之外,操作这种干涉仪还要求技术人员训练有素。用于 |
| 关 键 词： | 多轴机床 几何校正 自调整式 激光干涉仪 |
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