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| 溶胶-凝胶法制备薄膜时溶剂的选择 | |
| 引用本文： | 饶伟,李定国,王耘波,王叶安,于军.溶胶-凝胶法制备薄膜时溶剂的选择[J].海军工程大学学报,2014(1). |
| 作者姓名： | 饶伟 李定国 王耘波 王叶安 于军 |
| 作者单位： | 海军工程大学理学院;华中科技大学光电子科学与技术学院; |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(60971008) |
| 摘 要： | 以异丙醇、乙二醇、乙二醇甲醚和乙二醇乙醚4种有机物作为溶剂,采用溶胶-凝胶工艺在Si衬底上制备了钛酸锶钡(BST)薄膜。利用分光光度计、XRD、SEM等手段对不同溶剂溶胶的透光率和BST薄膜的结构、形貌进行了表征,从溶胶-凝胶转变速度和制备的薄膜结晶质量等方面研究了溶剂对溶胶-凝胶法制备薄膜的影响。研究结果表明:用乙二醇乙醚为溶剂,经过1~3d陈化后,BST薄膜质量较好;在溶胶-凝胶法制备薄膜中,选用黏度小、沸点高、蒸发热大的溶剂有利于形成致密度较高的薄膜。 |
| 关 键 词： | BST薄膜 溶胶-凝胶法 溶剂 |
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