| 轰击能量对Ti-Si-N纳米复合膜生长与力学性能的影响 |
| |
| 引用本文： | 蔡志海,张平,杜军,赵军军.轰击能量对Ti-Si-N纳米复合膜生长与力学性能的影响[J].装甲兵工程学院学报,2007,21(5):62-65. |
| |
| 作者姓名： | 蔡志海 张平 杜军 赵军军 |
| |
| 作者单位： | 装甲兵工程学院,装备再制造技术国防科技重点实验室,北京,100072 |
| |
| 基金项目： | 装备再制造技术国防科技重点实验室基金项目(9140C8502070703) |
| |
| 摘 要： | 采用离子束辅助沉积法(IBAD)在单晶硅片上制备了Ti-Si-N纳米复合薄膜,研究了轰击能量大小对Ti-Si-N纳米复合薄膜生长及力学性能的影响,同时探讨了轰击能量对Ti-Si-N纳米复合薄膜的生长机理的影响.通过原子力显微镜(AFM)、纳米压入仪、光电子能谱(XPS)和X射线衍射分析(XRD)等现代分析技术,对Ti-Si-N纳米复合薄膜的晶粒大小、力学性能、成分与相结构进行综合表征分析.试验结果表明当轰击能量为700 eV时,Ti-Si-N薄膜晶粒直径达到了最小值11 nm,此时Ti-Si-N薄膜的硬度相对最高,为33 GPa.
|
| 关 键 词： | 离子束辅助沉积 纳米复合 Ti-Si-N薄膜 力学性能 |
| 文章编号： | 1672-1497(2007)05-0062-04 |
| 修稿时间： | 2007年6月16日 |
Influence of Bombardment Energy on the Growth and Mechanical Property of Ti-Si-N Nano Composite Coatings |
| |
| CAI Zhi-hai,ZHANG Ping,DU Jun,ZHAO Jun-jun.Influence of Bombardment Energy on the Growth and Mechanical Property of Ti-Si-N Nano Composite Coatings[J].Journal of Armored Force Engineering Institute,2007,21(5):62-65. |
| |
| Authors: | CAI Zhi-hai ZHANG Ping DU Jun ZHAO Jun-jun |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
