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磁控溅射 ZrAlN 薄膜的硬度和断裂韧性

引用本文：	杜军,郭蕾,朱晓莹.磁控溅射 ZrAlN 薄膜的硬度和断裂韧性[J].装甲兵工程学院学报,2014(1):90-93.

作者姓名：	杜军郭蕾朱晓莹

摘要：
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