采用扭轮摩擦传动的埃级定位系统

我们提出了一个具有埃级分辨率的定位系统。这个系统有一个由液压导轨驱动的工作台和一个安装在工作台内的扭轮摩擦传动系统。摩擦传动把交流伺服电机的旋转运动转换成工作台的线性运动。扭轮摩擦传动特别适合超精密定位。因为它的导程可以小于0.1mm,用一个光纤传感器检测工作台的位移,计算机控制交流伺服电机的转角,最后得到0.2nm的定位分辨率。这种系统的行程可以达到几百毫米。这样,证实了扭轮摩擦传动是适合埃级定位的系统。     

四轴超精密车床的改进坐标驱动装置

带微进给方式步进电机的PC控制轴系驱动装置可生产光学质量的表面。超精密车床可生产诸如球体和非球体之类的集合体,其表面粗糙度≤5nmRa,可用于光学装置的反光镜或空气轴承转轴的超精密零件。     

超精密加工技术与现代武器制造

1 超精密加工技术概要 超精密加工技术是适应尖端技术的需要而发展起来的一种新工艺。它综合应用了机械技术发展的新成果及现代电子技术、测量技术和计算机技术等新技术,是航空、航天、电子、原子能、机械、仪表等技术极为重要的基础技术,而其本身的发展又促进上述各     

用于微机器人的线切割加工的平行弹性平台

本文给出了具有四个圆形柔性铰链的平行弹性平台的研究结果,并运用材料力学和有限元分析进行了理论仿真,利用线切割加工工艺制造了几个整体式的平台。颈缩截面的厚度为20—100um。对这些结构的刚度进行了精密测量并与理论值进行了比较。这使得能够定性的分析在电加工中产生的在微米级范围内不能忽略的粗糙度和其它表面变形的影响。通过这些实验得到的结果对其它具有几个自由度的复杂柔性机构非常有用。     

精密机床导轨的测量分析

本文提出了一个用于质量诊断的精密机床导轨分析系统。受控目标的质量评估是依据于对一个物体在选定区间内的测量形状与位置偏差来确定的。质量评估采用相关综合指标的形式:基本误差函数,综合不平行度。在对完整的支撑部件或导向部件作评估的时候,这套系统能对各部件的位置做校正。本文所描述的计算机系统能控制任何测量系统。目前的版本是控制一个测量平动与转动位移量的激光干涉仪。     

无摩擦的空气轴承技术对超精密加工机床进给驱动系统的控制需…

加工过程中随着对精密度和加工环境的要求的不断提高,越来越需要在机床的结构和控制器原理这两者之间进行特殊的组合。近年来,为了补偿进给驱动系统的直接导轨的摩擦造成的影响,人们发明了大量的控制决策,例如［１］－［３］。他们虽然提供了各式各样的功能强大的非线性的机构,但通常又使用相当复杂的计算机算法来耗费系统资源。借助于先进的空气静压轴承技术（ＦＶＭ－空气－轴承）摩擦可以被彻底消除,因而直线导轨也就不存在     

超精密金刚石车床伺服进给数学模型

首先分析了车床进给系统各环节的传递函数,在此基础上采用频域估计建模和时域建模方法建立了车床伺服进给系统的Ｓ域和Ｚ域模型     

基于神经网络的超精密机床伺服进给非线性模型辨识

以双轴Ｔ型结构的超精密金刚石车床的伺服进给系统为研究对象,采用自构造神经网络技术,建立了系统的非线性动态数学模型,为系统非线性控制与补偿提供参考模型     

超精密机床变分法精度分析及其应用

本文介绍了一种基于变分法的机床精度分析方法,以及这一方法在超精密机床精度分析中的应用。以超精密气浮花岗石车床为研究对象,建立了车床成形系统的数学模型,对车床的输出精度进行了理论分析,指出了加工误差中各成分的来源及物理意义。最后还探讨了变分法精度分析在超精密机床设计中的应用     

精密进场雷达航迹装定仪的研制

介绍了严密进场雷达航迹装定仪的设计思想及实现原理。该研制项目所实现的航迹自动装定、距标系统校准、飞机目标模拟等功能,对提高精密进场雷达的战略保障水平具有重要意义。