浅谈热处理炉工作区的炉温均匀性检验

论述了热处理炉工作区炉温均匀性检验的必要性和检验存在的困难,提出如何贯彻 GJB 509—88《热处理工艺质量控制规范》中有关加热炉有效工作区炉温均匀性定期检验的规定。     

炉温对化学气相沉积SiC涂层组成及显微结构的影响

采用SEM、EDX、XRD测试手段对沉积炉壁产物进行了分析,结果表明:低温区沉积的SiC涂层全为β SiC;高温区SiC涂层中含有少量的游离态Si和α SiC;高温区SiC颗粒的形核和生长速率大于低温区;所以温度是影响化学气相沉积SiC涂层组成及显微结构的主要因素。