| 多弧离子镀CrN薄膜的制备与表征 |
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| 引用本文： | 胡佳帅,张平,蔡志海,李程. 多弧离子镀CrN薄膜的制备与表征[J]. 装甲兵工程学院学报, 2007, 21(3): 78-81 |
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| 作者姓名： | 胡佳帅 张平 蔡志海 李程 |
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| 作者单位： | 装甲兵工程学院,装备再制造技术国防科技重点实验室,北京,100072 |
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| 基金项目： | 装备再制造技术国防科技重点实验室预研基金资助项目(9140C8502070703) |
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| 摘 要： | 应用多弧离子镀膜技术在65Mn钢基体上制备CrN薄膜,通过Nanohardness-tester、SEM、EDX和XRD测试分析了薄膜的硬度、厚度、成分结构和表面形貌.得到薄膜的最高硬度为24 GPa,最大厚度为2.06 μm.通过正交实验分析得到各因素对薄膜硬度影响程度的主次顺序是偏压、氮气、氩气、弧流,对薄膜厚度影响程度的主次顺序是弧流、氮气、偏压、氩气.
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| 关 键 词： | 多弧离子镀 CrN薄膜 纳米硬度 正交实验 |
| 文章编号： | 1672-1497(2007)03-0078-04 |
| 修稿时间： | 2007-03-12 |
Preparation and Properties of CrN Coatings by Multi-arc Ion Plating |
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| HU Jia-shuai,ZHANG Ping,CAI Zhi-hai,LI Cheng. Preparation and Properties of CrN Coatings by Multi-arc Ion Plating[J]. Journal of Armored Force Engineering Institute, 2007, 21(3): 78-81 |
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| Authors: | HU Jia-shuai ZHANG Ping CAI Zhi-hai LI Cheng |
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