微米／纳米加工技术国家级重点实验室——从微观领域开掘科技创新空间

微米/纳米加工技术是继微电子技术巨大成功后所引发的又一场微小型化革命。用“五敢”精神培育起来的技术团队——微米/纳米加工技术实验室成为这一领域高水平的国家级重点实验室。