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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
SAW-SXFA化学传感器的LB镀膜方法研究
作者姓名:
吕晖
梁坚
丁学全
骆国芳
曹丙庆
摘 要:
选择了六氟-2-羟基异丙基聚硅氧烷(SXFA)作为声表面波(SAW)化学传感器的敏感膜材料,采用Langmuir—Blodgett膜技术进行镀膜,得到超薄且厚度均匀的多层膜,并且研究了不同膜厚的传感器对甲基膦酸二甲酯(DMMP)的响应情况。
关 键 词:
六氟-2-羟基异丙基聚硅氧烷
声表面波
Langmui
r—Blodgett膜
化学传感器
镀膜
膜厚
甲基膦酸二甲酯
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