| 炉温对化学气相沉积SiC涂层组成及显微结构的影响 |
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| 引用本文： | 刘荣军,周新贵,张长瑞,曹英斌.炉温对化学气相沉积SiC涂层组成及显微结构的影响[J].国防科技大学学报,2002,24(6):23-26. |
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| 作者姓名： | 刘荣军 周新贵 张长瑞 曹英斌 |
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| 作者单位： | 国防科技大学航天与材料工程学院,湖南,长沙,410073 |
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| 基金项目： | 国家部委重点项目资助(41312011002) |
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| 摘 要： | 采用SEM、EDX、XRD测试手段对沉积炉壁产物进行了分析,结果表明:低温区沉积的SiC涂层全为β SiC;高温区SiC涂层中含有少量的游离态Si和α SiC;高温区SiC颗粒的形核和生长速率大于低温区;所以温度是影响化学气相沉积SiC涂层组成及显微结构的主要因素。
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| 关 键 词： | 炉温梯度 化学气相沉积 SiC涂层 |
| 文章编号： | 1001-2486(2002)06-0023-04 |
| 收稿时间： | 2002/7/19 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2002年7月19日 |
Effect of Furnace Temperature on the Composition and Microstructure of SiC Coatings by CVD |
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| LIU Rongjun,ZHOU Xingui,ZHANG Changrui and CAO Yingbin.Effect of Furnace Temperature on the Composition and Microstructure of SiC Coatings by CVD[J].Journal of National University of Defense Technology,2002,24(6):23-26. |
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| Authors: | LIU Rongjun ZHOU Xingui ZHANG Changrui and CAO Yingbin |
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| Institution: | College of Aerospace and Materials Engineering, National Univ. of Defense Technology, Changsha 410073, China;College of Aerospace and Materials Engineering, National Univ. of Defense Technology, Changsha 410073, China;College of Aerospace and Materials Engineering, National Univ. of Defense Technology, Changsha 410073, China;College of Aerospace and Materials Engineering, National Univ. of Defense Technology, Changsha 410073, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | furnace temperature gradient CVD SiC coatings |
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