| 光学镀膜宽带膜厚监控系统 |
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| 作者姓名： | 刘晓元 黄云 周宁平 龙兴武 |
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| 作者单位： | 国防科学技术大学理学院,湖南 长沙 410073;国防科学技术大学理学院,湖南 长沙 410073;国防科学技术大学理学院,湖南 长沙 410073;国防科学技术大学理学院,湖南 长沙 410073 |
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| 基金项目： | 国家部委项目资助! (97J9 1 4 KG0 134) |
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| 摘 要： | 针对过去的宽带膜厚监控法必须依赖镀制前设定的目标透射率 (反射率 )的固有缺陷 ,提出了在蒸镀过程中及时拟合出所镀层的膜厚、色散系数 (折射率 )等参数 ,并据此不断修正目标透射率 (反射率 )的设想 ,从而从根本上克服过去的宽带膜厚监控法的固有缺陷。建立了基于修正膜层目标光谱特性的宽带膜厚监控系统 ,阐述了它的结构和工作原理。进行了稳定性实验及一系列镀膜监控实验 ,实验结果表明 ,该系统透射率的重复测量精度优于 2‰ ,膜厚监控精度较高 ,重复性好 ,各层的终点膜厚判定精度优于 1 %。
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| 关 键 词： | 光学薄膜 镀膜 膜厚监控 宽带膜厚监控 |
| 文章编号： | 1001-2486(2001)01-0023-05 |
| 收稿时间： | 2000-09-25 |
| 修稿时间： | 2000-09-25 |
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