| 纳米级精密机械的设计及特性 |
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| 引用本文： | Ying Xu,P.D.Atherton,M.McConnell,T.R.Hicks,雍玲.纳米级精密机械的设计及特性[J].国防科技,1997,18(3):90-93. |
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| 作者姓名： | Ying Xu P.D.Atherton M.McConnell T.R.Hicks 雍玲 |
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| 作者单位： | Queensgate Instruments Ltd.Waterside Park，Bracknell，RG12 1RB，UK，Queensgate Instruments Ltd.Waterside Park，Bracknell，RG12 1RB，UK，Queensgate Instruments Ltd.Waterside Park，Bracknell，RG12 1RB，UK，Queensgate Instruments Ltd.Waterside Park，Bracknell，RG12 1RB，UK |
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| 摘 要： | 最近,Queensgate仪器有限公司研制出一系列超精定位机械,它们将Queensgate的压电及纳米级传感器技术融合为具有亚纳米级定位精度能力的多轴定位控制器。在这篇论文中,将介绍和讨论在这些机械的研制中所用到的一些技术,以解释如何获得纳米或亚纳米级水平的计量能力。
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| 关 键 词： | 纳米级 精密机械 超精密定位系统 |
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