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| 一种用于直线度测量的多功能,简单,低成本电容传感器 | |
| 作者姓名： | G.J.P.Nijsse C.Hengst J.W.Spronck 吴宇列 |
| 作者单位： | 尼德兰德尔夫特技术大学机械工程系微工程实验室，尼德兰德尔夫特技术大学机械工程系微工程实验室，尼德兰德尔夫特技术大学机械工程系微工程实验室 |
| 摘 要： | 线性运动在精密工程中被广泛应用。由于寄生运动的存在,要实现线性工作台或轴承完美无缺的直线运动几乎是不可能的。这些寄生运动包括:两个方向的平动(y和z),三个方向的转动,即滚动(Φ_x),垂直俯仰(Φ_y),水平晃动(Φ_z)。使用机械元件,这些寄生运动的数量级分别为1μm和1mrad。修改机械设计来增加直线运动的精度通常是困难的而 |
| 关 键 词： | 直线度测量 电容传感器 电容测量 |
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