| 实验条件对纳米多孔二氧化硅薄膜性能的影响 |
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| 引用本文： | 王娟,张长瑞,冯坚. 实验条件对纳米多孔二氧化硅薄膜性能的影响[J]. 国防科技大学学报, 2005, 27(3): 16-19 ,29 |
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| 作者姓名： | 王娟 张长瑞 冯坚 |
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| 作者单位： | 国防科技大学,航天与材料工程学院,湖南,长沙,410073 |
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| 基金项目： | 国家部委重点资助项目(41312040307) |
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| 摘 要： | 以正硅酸乙酯(TEOS)为先驱体,采用酸/碱两步溶胶—凝胶法,结合旋转涂胶和超临界干燥等工艺在硅片上制备了SiO2薄膜。XRD和AFM表明该SiO2薄膜为无定形态,具有多孔网络结构,表面均匀、平整,其SiO2粒子和孔隙的直径为30～40nm。利用椭偏仪测量了薄膜的厚度和折射率,薄膜的厚度为300～1100nm,折射率为1.13～1.23,孔隙率为50%～70%,介电常数为1.9～2.4。SiO2薄膜的厚度随溶剂异丙醇(IPA)用量的减少、催化剂NH4OH用量的增加、SiO2溶胶粘度的增大和旋转涂胶速度的降低而增大;介电常数随NH4OH用量和SiO2溶胶粘度的增加而降低,IPA用量和旋转速度对SiO2薄膜的介电常数影响较小。
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| 关 键 词： | 纳米多孔SiO2薄膜 溶胶—凝胶 低介电常数 |
| 文章编号： | 1001-2486(2005)03-0016-04 |
| 收稿时间： | 2004-11-05 |
| 修稿时间： | 2004-11-05 |
Effects of Experimental Conditions on the Properties of Nanoporous Silica Films |
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| WANG Juan,ZHANG Changrui and FENG Jian. Effects of Experimental Conditions on the Properties of Nanoporous Silica Films[J]. Journal of National University of Defense Technology, 2005, 27(3): 16-19 ,29 |
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| Authors: | WANG Juan ZHANG Changrui FENG Jian |
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| Affiliation: | College of Aerospace and Materials Engineering, National Univ. of Defense Technology, Changsha 410073, China;College of Aerospace and Materials Engineering, National Univ. of Defense Technology, Changsha 410073, China;College of Aerospace and Materials Engineering, National Univ. of Defense Technology, Changsha 410073, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | nanoporous silica film sol-gel low dielectric constant |
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