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| 声表面波对基片表面黏弹薄膜的响应特性分析 | |
| 摘 要： | 理论分析了声表面波(SAW)对沉积在压电基片表面的黏弹薄膜的响应特性,建立了分析SAW传播特性的数值仿真模型。采用有限元数值模拟方法研究了SAW对黏弹薄膜质量负载和黏弹性的定量响应规律,发现SAW信号的振幅衰减和中心频率相对变化率可随黏弹薄膜质量负载和黏弹性的改变而发生敏感且单调的变化。 |
Response of Surface Acoustic Wave Propagation to Viscoelastic Film Deposited on Substrate Surface |
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