用于高分辨率领域的线性角编码器 |
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作者姓名: | Spies. A 吴书友 |
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作者单位: | DR.JOHANNES HEIDENHAIN GmbH,Traunreut,Germany |
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摘 要: | 在超精密测量和控制技术中,越来越要求测量步长达1nm,角分辨达0.001角秒。为达到如此高的分辨率,测量标准需有很小的栅格周期,只有用干涉方法才能扫描到它。本文通过一个信号周期为128nm、分辨率为1nm的线性角编码器,介绍了不同扫描原理的各种结果。
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关 键 词: | 干涉仪 线性角编码器 分辨率 光栅干涉仪 测量 |
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