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| 有源光缆的硅基90 °转向芯片设计与制备 | |
| 作者单位： | 中国空空导弹研究院,河南洛阳471009;红外探测器技术航空科技重点实验室,河南洛阳471009;中国空空导弹研究院,河南洛阳471009;濮阳光电产业技术研究院,河南濮阳457100 |
| 基金项目： | 航空科学基金;国家科技重大专项 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 转向芯片 各向异性晶体蚀刻仿真 湿法刻蚀 V型槽 高反膜 耦合效率 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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