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| 有源光缆的硅基90 °转向芯片设计与制备 | |
| 作者姓名： | 刘代军 郭云芝 穆学桢 闰海涛 谢占武 张义飞 |
| 作者单位： | 中国空空导弹研究院,河南洛阳471009;红外探测器技术航空科技重点实验室,河南洛阳471009;中国空空导弹研究院,河南洛阳471009;濮阳光电产业技术研究院,河南濮阳457100 |
| 基金项目： | 航空科学基金;国家科技重大专项 |
| 摘 要： | 从垂直腔激光器阵列到光纤阵列的高效耦合一直是高速有源光缆制备过程中的挑战.基于界面光波传输的相位匹配,根据界面的折射率的分布及波动传输方程,设计了41 °转向角度的微反射镜.基于各向异性晶体蚀刻仿真,得到具有特定晶体取向的硅基微结构.在研究制备工艺的方法中,通过在含异丙醇有机添加剂的氢氧化钾溶液中硅各向异性湿法蚀刻制备... |
| 关 键 词： | 转向芯片,各向异性晶体蚀刻仿真 湿法刻蚀 V型槽 高反膜 耦合效率 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |