基于激光器调制的微光栅加速度计噪声抑制

设计了一个基于激光器调制的微光栅加速度计信号检测系统。对微光机电系统的噪声来源进行了分析与建模，采用激光器高频调制的方法抑制1/f噪声和背景光噪声。实验结果表明，激光器调制降低了1/f噪声，改善了信噪比。相比较未调制系统，调制系统输出在0.01 Hz处的噪声水平降低了约10 dB,符合预期。功率谱密度图显示系统本底噪声达到-100 dB,降低约10 dB。