基于自准直反射法的光学中心偏检测系统研究

提出了一种基于自准直反射法测量光学中心偏的检测方法,分析了其测量光学中心偏的基本原理,在此基础上设计了基于自准直反射法的光学镜组中心偏检测系统。系统采用CV-A1型CCD探测器组件,以轴向晃动≤1″、径向跳动≤1μm的高精度基准轴工作台配合PIV研华工控机进行数据采集和图像处理,系统测量精度为:角度≤2,″线度≤0.01 mm。实际应用表明,该系统适用于1.06μm激光探测系统光学镜组的在线装校及系统中心偏检测,也可用于其它光学系统中心偏的测量。