(CH3)2SiCl2和N2H4 反应产物为先驱体制备Si/C/N纳米微粉

采用(CH3)2SiCl2和N2H4反应产物为先驱体,在H2、NH3气条件下,用化学气相裂解法制备出Si/C/N纳米复合微粉这一全新的合成体系.对温度、气体流量,H2/NH3的比例等合成工艺条件对微粉的性质、形貌、组成等的影响进行了较为系统的讨论,并从热力学和动力学的角度初步讨论了产物裂解机理及组成的变化形成机理.所合成的Si/C/N微粉为无定型球状颗粒,N的含量从16.49%～26.75%可调,粒径最小达40 nm.