压电微动伺服机构

本文详尽论述了作为精密车床直线运动误差检测,补偿系统中的微动伺服机构的工作原理、伺服机构结构参数的优化设计以及为提高伺服机构的频响而设计的“有源高压放电电路”。最后,建立了压电微动伺服机构的静、动态特性的数学模型。