精密机床导轨的测量分析

本文提出了一个用于质量诊断的精密机床导轨分析系统。受控目标的质量评估是依据于对一个物体在选定区间内的测量形状与位置偏差来确定的。质量评估采用相关综合指标的形式:基本误差函数,综合不平行度。在对完整的支撑部件或导向部件作评估的时候,这套系统能对各部件的位置做校正。本文所描述的计算机系统能控制任何测量系统。目前的版本是控制一个测量平动与转动位移量的激光干涉仪。     

直线度误差分离方法的误差分析

在研究精密和超精密加工技术的发展对直线度误差分离技术所提出的新要求的基础上 ,定量分析了传感器初始对准误差 ,忽略摆角误差和传感器漂移特性差异在时域和频域直线度误差分离方法中造成的误差 ,同时指出了频域方法中权系数对测量误差的放大作用。并讨论了一些消除误差的方法。最后由此得出两点法与三点法相结合的组合方法是最适用于超精密直线度测量的误差分离方法的结论。     

一般机构的解耦运动

运动解耦的机构容易控制 ,并且可以达到更高的运动精度。然而随着机构学不断发展 ,尤其是并联机构的出现 ,很多机构不具有运动解耦的性质。对于并联机构 ,可以得出结论 ,运动不解耦才是其本质特征。因此有必要研究一般机构实现的简单运动 ,并定义为解耦运动。解耦运动对机构的运动控制和轨迹规划都有一定意义。使用螺旋理论 ,给出了解耦运动的定义、分类 ,及机构存在解耦运动的必要条件和充分特例。最后通过一个二自由度转动机构的设计实例 ,综合了上述概念和方法。     

高速精密主轴径向误差的测试

对高速精密主轴的径向误差进行测试 ,主轴的高速可能会使误差分离的方法不再成立 ,通过模态分析 ,验证了该系统的误差分离的可能性。在测试中常用精密主轴来直接代替精密钢球进行测试 ,这样会带来测量误差 ,本文对这个问题进行了分析。另外还对传感器探头安装误差进行了分析。     

滑动导轨等部件的微动态特性

1.简介 这份报告给出了关于传统的滑动导轨系统的一些实验结果,同时论及了机构的精密运动控制。 这些年来,诸如导轨、丝杠和其他驱动机构等机械部件的微动态特性,换句话说,就是在很小位移范围内的非线性传递特性。已成为精密机械工程研究的首要问题。超精密仪器、机床和半导体生产系统都对机械部件的控制精度提出了越来越高的要求。对于精