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微机电系统被普遍认为是一项面向21世纪的可以广泛应用的新兴技术,作为其实际应用的微型仪器,具有传统仪器无可比拟的优势.从微型仪器入手,分别介绍了其概念、特点和市场应用,并在最后阐述了对微型仪器的几点认识. 相似文献
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