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微机电系统技术的实际应用——微型仪器   总被引:3,自引:0,他引:3       下载免费PDF全文
微机电系统被普遍认为是一项面向21世纪的可以广泛应用的新兴技术,作为其实际应用的微型仪器,具有传统仪器无可比拟的优势.从微型仪器入手,分别介绍了其概念、特点和市场应用,并在最后阐述了对微型仪器的几点认识.  相似文献   
2.
自微电子技术问世以来,人们不断追求越来越小、越来越完善的微小尺度结构的装置,并对生物、环境控制、医学、航空、航天、精确制导弹药、灵巧武器、先进情报传感器以及数字通信等领域,不断提出微小型化方面的更新更高的要求。按照一种习惯的划分,装置尺度在1毫米(10~(-3)米)~10毫米范围的,称微小型(mi-ni-)机械;在1微米(10~(-6)米)~1毫米范围的,称微型(micro-)机械;在1纳米(10~(-9)米,或10埃)~1微米范围的,称纳米(nano-)  相似文献   
3.
小平同志不仅是我国社会主义改革开放和现代化建设的总设计师,也是新时期军队和国防现代化建设的总设计师。他对国防科技事业高度重视.倾注了大量心血。今年8月22日,是他老人家诞辰100周年的日子.深切缅怀小平同志的丰功伟绩,深情追忆他对国防科技事业的亲切关怀.更加激起我们无限的崇敬与怀念之情。  相似文献   
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