平面二自由度并联执行机构的设计与实现

介绍了作者研制的一种用于半导体制造设备上的x-y并联执行机构。通过增加一个冗余运动链 ,使得该机构在工作空间内没有奇异点。该机构的最大特点是可以大大减少现有机构的体积 ,并具有较高的刚度 ,可以在高速运动条件下具有较高的运动精度和跟踪性能。实验结果表明 ,该系统的轨迹跟踪误差均低于 0 5mm。     

纳米级分辨率的光纤位移传感器的设计和建模

本文介绍了一种光纤纳米级分辨率的非接触式测量系统。对实验的设置、噪声和时频响应进行了具体介绍和分析。实验设置包括一项减小激光源波动的技术。并用一个分辨率为1.25nm的激光干涉仪(AXIOM2/20)来监控的线性低电压压电陶瓷驱动台进行标定。光纤传感器具有从50到150μm稳定的准线性测量范围。     

一种用于直线度测量的多功能,简单,低成本电容传感器

线性运动在精密工程中被广泛应用。由于寄生运动的存在,要实现线性工作台或轴承完美无缺的直线运动几乎是不可能的。这些寄生运动包括:两个方向的平动(y和z),三个方向的转动,即滚动(Φ_x),垂直俯仰(Φ_y),水平晃动(Φ_z)。使用机械元件,这些寄生运动的数量级分别为1μm和1mrad。修改机械设计来增加直线运动的精度通常是困难的而     

光波导微模具飞切加工工艺

针对目前模压制作工艺中高精度的光波导微模具加工工艺比较复杂的问题,基于金刚石超精密机械加工技术在光学元件微结构的广泛应用提出了光波导微模具的金刚石飞切高效快速的加工方法.通过超精密飞切加工系统以硬铝为模具材料进行了工艺优化的正交试验.试验结果表明:背吃刀量对光波导微结构表面质量的影响相当敏感,主轴转速对微结构表面质量的...     

用单球法测量大直径锯齿形螺纹中径的原理及装置

本文论述了用单球法测量大直径锯齿形螺纹中径的原理与方法，具体介绍了为实现这种方法而设计的检测装置。对这个装置进行了精度标定和测试，实验表明，该测量仪器使用方便，精度较高，具有较强的实用性。     

并联机构奇异点分析的新方法

根据并联机构位形空间的特点 ,采用微分几何和微分拓扑的方法 ,提出了一种并联机构奇异点的新的分类方法 ,即分为拓扑奇异点 ,参数化奇异点两种类型 ,并把它与现有的几种分类方法进行了比较。     

定位导航授时微系统技术

在卫星导航拒止情况下,定位导航授时微系统技术能够为用户提供精确的定位、导航、授时服务。文章介绍自主导航授时微系统技术的内涵、定位和作用;阐述了定位导航授时微系统技术构成,分析了国内外定位导航授时微系统技术的发展现状及趋势。研究表明,跟踪国内外定位导航系统性能及系统技术的研究动态,对我国定位导航授时微系统技术的发展具有重要借鉴意义。     

超精密气浮式电容传感器系统

介绍了一种高精度、高分辨率的超精密气浮式电容传感器。该系统将具有方形导轨的气浮测头和超小型电容传感器结合在一起,既保证了测头的高分辨率,又体现了电容传感器的高精度、高频响的特点,是一种较好的用于超精密接触测量的测量系统     

冗余并联机构的PD控制

采用并联机构的简化树动力学模型 (reducedtreemodel) ,给出了冗余并联结构的动力学方程和基于PD控制策略的控制方法。为了消除冗余并联机构固有的内作用力 ,给出了一种基于静态力平衡的控制方法。最后 ,利用一个 2自由度的冗余平面并联机构作为控制实例 ,实验结果表明了控制方法的正确性     

激光二极管与单模光纤自动对准搜索算法

针对激光二极管与单模光纤的自动对准,从搜索路径规划和参数选择出发,给出五自由度自动对准搜索算法解决方案,为了提高搜索效率,提出新的指数函数拟合算法应用到XY平面的搜索过程中,给出了算法的基本原理和实现方法。实验证明,与爬山法相比,这种算法由于减少了采样点数而缩短了搜索时间,从而提高了自动对准的速度。