ESD对微电子器件造成潜在性失效的研究综述

静电放电(ESD)潜在性失效问题是当前微电子工业面临的可靠性问题之一,并且越来越引起人们的重视。国内外学者在微电子器件ESD潜在性失效的检测及探讨失效机理方面的研究取得了较大的进展。研究表明:MOS电路等微电子器件,在ESD作用下确实存在潜在性失效问题。因此,开展ESD潜在性失效研究具有重要意义。     

新型弹药装备静电放电试验研究

静电放电试验是安全性评价的一项重要内容.参照IEC 61000-4-2标准,提出弹药装备静电放电试验方法为间接静电放电和直接静电放电.该方法拓展应用标准的"开放等级",构建试验系统,并进行相应的试验研究,从而为新型弹药装备定型或静电安全性评价提供了全面评价方法.     

火箭弹防静电作用研究

针对电发火弹药静电放电问题,以某型130 mm火箭弹为例,采用真实静电感度测试系统测试了电火工品在有、无绝缘层时50%的静电点火能量,并在试验程序及数据处理中使用真实静电感度数据处理方法统计了50%静电发火能量的估计值。通过比较发现二者的差值在误差范围内,这表明静电放电研究中可以将弹体所接受的能量视作全部作用于火工品上,绝缘层不吸收静电放电的能量。在电发火弹药的防护中,必须采用静电防护措施杜绝电发火弹药的意外发火。     

用于静电放电EMP实验的三模冗余技术

通过对TMR(Trip le Modu lar Redundancy)容错技术的分析和研究,介绍了一种基于FPGA芯片的TMR整体“硬化”技术,并分别对采用了TMR技术的电机容错控制系统和未采用TMR技术的一般电机控制系统进行了ESD EMP的辐照效应实验,得出TMR技术可有效增强控制系统抗ESD EMP能力的结论。     

ESD与方波脉冲对集成电路注入损伤的比较研究

采用方波脉冲和ESD脉冲对3种集成电路进行了注入损伤效应实验,目的是比较二者对器件损伤的异同之处。分析时,首先对实验数据作拟合分析,建立起相关的数学模型,然后将模型值和实际值进行比较。可得到结论:实验器件有高压强场致PN结击穿和热效应2种损伤模式。对同一种器件,2种注入方式下的损伤模式相同或类似。方波注入下,各损伤阈值参数可拟合为1个式子来描述它们之间的关系,ESD注入下则还不确定;对同一器件,不同注入方式下的阈值不同,目前结果表明相差2~3倍。     

静电放电过程电荷量和能量分析

分别采用四指数表达式拟合的方法和数值计算求解双RLC人体静电放电（ESD）模型的方法得到了符合标准要求的ESD电流波形，计算这两种方法下各自的放电电荷量和放电电阻消耗的能量；测量空气式和接触式两种ESD模式下的放电电流波形，并分别计算放电电荷量和能量情况；通过比较得出，放电电荷量和放电电阻消耗的能量都能够超过放电前的3／4，用数值拟合的电流波形虽能满足四个关键参数的要求，但其它部分电流值偏大。     

弹药库防静电方法研究

根据弹药库静电危险场所的分类等级,以形成静电危害的3个基本条件为依据,讨论了弹药库防静电危害常用措施:设施设备静电接地、防静电工作台、人体静电防护、铺设导电(或防静电)地面以及各自防静电要求.这些措施为防止和消除弹药库的静电危害提供了根本保障.     

钝感电火工品静电敏感度试验研究

钝感电火工品具有一定的稳定性和抗静电能力。采用真实静电感度试验方法测试其静电敏感度,能够为产品设计和鉴定试验时进行定量的静电安全性评估、确定钝感电火工品对各种有害使用环境的抵抗能力以及为产品制定安全技术标准和采取防护措施提供科学依据。     

静电放电模拟器电流波形校验装置研究

研制了符合国际电工委员会IEC61000－4－2标准的ESD模拟器电流校验系统。该系统能自动采集ESD电流波形,计算上升时间、峰值电流、30ns时电流。60ns时电流等参数。该系统已用于我国静电计量测试站对静电放电电流波形的校验工作。     

集成电路ESD注入损伤效应及注入电压与能量间的关系

利用静电放电(ESD)模拟器对集成电路芯片进行电压注入损伤效应实验,通过存贮示波器记录的波形进行乘法和积分运算,得到对应注入电压下芯片上吸收的平均峰值功率和能量。对放电电压与平均峰值能量作散点图,采用曲线拟合的方法对离散点进行拟合,针对该曲线拟合的方法进行了分析,最终建立了ESD注入电压与平均峰值能量之间的数学模型。