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相似文献
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1.
溶胶—凝胶法制备SiO2气凝胶薄膜溶胶粘度的研究   总被引:1,自引:1,他引:1       下载免费PDF全文
用低介电常数介质薄膜代替传统的SiO2薄膜是减小ULSI中互连延迟、串扰和能耗的有效方法.SiO2气凝胶薄膜因具有低介电常数、低密度、高热稳定性等性能而成为ULSI中金属间介质的理想材料.以正硅酸乙酯为原料,采用酸/碱两步溶胶-凝胶法结合匀胶和超临界干燥等工艺在硅片上成功制备了SiO2气凝胶薄膜.研究了不同配比的SiO2溶胶粘度随时间的变化;确定了适于匀胶的溶胶的粘度范围为9~15mPa*s;发现溶胶粘度在9~15mPa*s的时间随溶剂异丙醇(IPA)用量的增加和NH4OH的减少而延长.  相似文献   

2.
以钒醇盐为原料,采用溶胶—凝胶法制备了具有纳米结构的氧化钒薄膜,对影响氧化钒溶胶稳定性的因素进行了系统研究,并初步探讨了焙烧工艺条件对氧化钒薄膜价态的影响。  相似文献   

3.
以钛酸正丁酯为原料,采用溶胶-凝胶法在柔性材料上制备了中孔TiO2薄膜光催化剂,利用TEM和Raman研究了薄膜的表面及结构特性,以甲醛、氰化氢、苯的光催化氧化反应为试验反应,考察TiO2薄膜光催化剂的活性。结果表明,制得了具有中孔结构、结晶完好的锐钛矿型TiO2薄膜光催化剂,具有较好的光催化活性。  相似文献   

4.
实验条件对纳米多孔二氧化硅薄膜性能的影响   总被引:2,自引:0,他引:2       下载免费PDF全文
以正硅酸乙酯(TEOS)为先驱体,采用酸/碱两步溶胶—凝胶法,结合旋转涂胶和超临界干燥等工艺在硅片上制备了SiO2薄膜。XRD和AFM表明该SiO2薄膜为无定形态,具有多孔网络结构,表面均匀、平整,其SiO2粒子和孔隙的直径为30~40nm。利用椭偏仪测量了薄膜的厚度和折射率,薄膜的厚度为300~1100nm,折射率为1.13~1.23,孔隙率为50%~70%,介电常数为1.9~2.4。SiO2薄膜的厚度随溶剂异丙醇(IPA)用量的减少、催化剂NH4OH用量的增加、SiO2溶胶粘度的增大和旋转涂胶速度的降低而增大;介电常数随NH4OH用量和SiO2溶胶粘度的增加而降低,IPA用量和旋转速度对SiO2薄膜的介电常数影响较小。  相似文献   

5.
用溶胶凝胶的方法在ITO导电基片上制备了一组不同掺镍量的氧化钨钼薄膜,分别测量了该系统及ITO电极浸泡于1 mol氯化钠溶液中不同频率下的电化学阻抗,应用等效电路法模拟了该系统的阻抗谱,从而获得了有关掺镍薄膜的电阻、电容及溶液在薄膜内扩散等信息.研究表明,与ITO电极所产生的吸附层的等效元件参数相比较,掺镍氧化钨钼薄膜大大提高了ITO电极传输电荷的能力.  相似文献   

6.
采用溶胶-凝胶法,制备钛酸钡干凝胶.通过DSC对其进行热分析,确定两个煅烧温度:780 ℃和900 ℃.通过DSC,XRD对这两种温度煅烧得到的钛酸钡进行晶相结构表征.结果表明,随着煅烧温度升高,晶粒尺寸逐渐增大,(111)面间距d(111)和α轴逐渐减小,c轴逐渐增大.说明可以通过提高煅烧温度得到常温下为铁电性的四方相钛酸钡晶体,解决了溶胶-凝胶法制备钛酸钡在常温下为顺电性的立方相晶体这一问题.  相似文献   

7.
本文以钛酸丁酯为原料,通过溶胶一凝胶法制备了TiO2凝胶,在高温下烧结此凝胶得到TiO2。将TiO2粉末在900°C以上用氨进行氮化,制得金黄色的氮化钛。通过使用热分析、色谱分析、扫描电镜及X一射线衍射等手段,研究并揭示了凝胶在陶瓷化生成TiO2的过程中的化学反应,结晶及晶型随温度的变化规律。发现了氮化钛陶瓷的生成率与TiO2溶胶的制备条件之间的关系。  相似文献   

8.
Ni-Zn铁氧体粉末的溶胶-凝胶合成及微波性能   总被引:2,自引:0,他引:2       下载免费PDF全文
以硝酸铁、硝酸镍、硝酸锌、柠檬酸和氨水为原料,用溶胶-凝胶法合成了不同组成的Ni-Zn铁氧体粉末。利用热分析、X射线衍射等手段研究了干凝胶热分解行为。利用网络分析仪对铁氧体粉末的电磁性能进行了表征,考察了铁氧体的组成与其电磁性能之间的关系。结果表明,溶胶-凝胶法合成的铁氧体粉末的μ″值随测试频率的提高和Ni-Zn铁氧体中锌含量的增加而减小。  相似文献   

9.
以乙二醇甲醚为溶剂,采用Sol-Gel法制备出具有C轴取向、可导电的Al3+离子掺杂ZnO透明薄膜,并利用场发射扫描电镜、X-射线衍射、能谱分析、标准四探针和反射光谱仪等对薄膜的组成、结构和光学性能进行了分析.结果表明:Al3+离子掺杂ZnO薄膜为六方纤锌矿型结构,由六棱柱状阵列构成,具有C轴择优取向;薄膜电阻率随Al3+离子掺杂浓度的升高而降低;在可见光区域,薄膜透光率随Al3+离子掺杂浓度的升高而降低,掺杂3% ZnO薄膜的透光率达到90%左右,禁带宽度为3.25 eV,具备制作薄膜太阳能电池透明导电电极材料的应用价值.  相似文献   

10.
用酸催化溶胶-凝胶法制得SiO2溶胶,分别采用共混法和原位聚合法制备含氟聚丙烯酸酯/SiO2纳米杂化涂层.利用红外光谱、扫描电镜等表征了杂化涂层的结构、形态及SiO2相的分散性;研究了SiO2含量、分布和界面状况等与杂化涂层的表面性能和力学性能的关联与影响.结果表明,SiO2在两种方法制备的杂化涂层中均以Si-O网络的形式存在,原位聚合法中SiO2相的分散性优于共混法;含氟聚丙烯酸酯涂层中引入SiO2相后,涂层性能明显提高,共混法的疏水性优于原位聚合法;二者的力学性能随SiO2相含量变化的趋势相同,原位聚合法略优于共混法.  相似文献   

11.
纳米TiO2催化剂催化降解含酚废水的动力学   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用超声溶胶-凝胶法制备了纳米二氧化钛粉末,并利用DSC-TGA和XRD等技术进行了结构表征;采用SGY-1型多功能光化学反应仪对纳米二氧化钛光催化降解含酚废水的动力学特征进行了研究.结果表明,制备的纳米二氧化钛颗粒在酚类废水降解中表现出很好的催化活性,30 min内降解率达90%以上,并满足准一级反应动力学特征.废水中不同酚类化合物的光催化降解速率顺序为:对氨基苯酚>对甲氧基苯酚>对氯苯酚;对氨基苯酚>间氨基苯酚>邻氨基苯酚.  相似文献   

12.
溶胶凝胶法制备碳化硅陶瓷的影响因素   总被引:5,自引:0,他引:5       下载免费PDF全文
采用溶胶凝胶法 ,以正硅酸乙酯和酚醛树脂为原料 ,在草酸催化作用下 ,制备出了不含硫和氯的均相碳化硅先驱体 ,并在一定的升温制度下制备出SiC陶瓷。考察了温度对预水解过程的影响以及水用量、催化剂和镍盐用量等因素对凝胶时间的影响。结果表明 ,在预水解温度控制在 4 0℃左右 ,时间为 2 4h时效果最佳 ;而当水与正硅酸乙酯的摩尔比达到 0 2 8左右、草酸与正硅酸乙酯的摩尔比为 0 0 1左右时 ,可以使凝胶时间达到最短。进一步的研究表明 ,镍盐的加入对凝胶烧成过程中 β -SiC的生成有催化作用。  相似文献   

13.
氧化铝气凝胶复合材料的制备与隔热性能   总被引:7,自引:0,他引:7       下载免费PDF全文
以仲丁醇铝为先驱体,采用溶胶一凝胶工艺制备氧化铝溶胶,并将其与无机陶瓷纤维毡复合经超临界流体干燥得到氧化铝气凝胶隔热复合材料.利用扫描电子显微镜(SEM)和氮气吸附等方法对样品微观结构进行分析,利用热平板法对材料的隔热性能进行测试,并分析了氧化铝气凝胶隔热复合材料隔热机理.研究表明:与氧化硅气凝胶相比,氧化铝气凝胶具有更好的耐高温性能,经1000℃热处理后仍然能够较好地保持其纳米多孔结构;将气凝胶与纤维复合后,充分发挥了氧化铝气凝胶优良的隔热特性,使得复合材料的隔热性能较纯纤维毡有了明显的改善,其热面温度1000℃时导热系数为0.0685 W/m·K.  相似文献   

14.
以钛酸四丁酯为前驱物,采用溶胶-凝胶法制备TiO2凝胶。通过改变各原料的配比和实验条件对凝胶过程中的作用机理进行了探究。结果表明:当无水乙醇与钛酸四丁酯的摩尔比为12:1,蒸馏水与钛酸四丁酯的摩尔比为3:1,抑制剂与钛酸四丁酯的摩尔比为1:1~2:1,pH=2,最适水解温度为25℃时,制得了稳定的二氧化钛凝胶。  相似文献   

15.
溶胶—凝胶法合成氧化铝—氧化硅纳米粉   总被引:17,自引:0,他引:17       下载免费PDF全文
以AlCl3*6H2O和(CH2)6N4为原料,用溶胶-凝胶法合成出比表面积为189.6m2/g的γ相氧化铝粉,平均粒径约为9nm.以铝溶胶和硅溶胶为原料,用溶胶-凝胶法合成出反应活性高的Al2O3-SiO2复合粉体.该粉体在1300℃煅烧后转变为莫来石.  相似文献   

16.
金属/SiO2复合气凝胶催化剂对一氧化碳氧化的催化   总被引:3,自引:0,他引:3  
采用溶胶-凝胶法和超临界干燥法制备了Cu/SiO2 和Co/SiO2 气凝胶催化剂, 对其结构和形貌进行了XRD、TEM 和比表面分析, 并考察了其对CO氧化的催化性能。实验结果表明, 制得的Cu/SiO2 和Co/SiO2 气凝胶催化剂均保留了气凝胶的纳米网络和高比表面积, 活性组份均匀地分散在纳米级二氧化硅气凝胶载体中, 对CO的氧化均表现出高的催化活性。  相似文献   

17.
采用改进Hummer氧化法制备氧化石墨烯(GO),采用超声辅助溶胶凝胶法,以GO、硝酸镧、钛酸丁酯为原料制备La掺杂GO/Ti O_2复合材料。通过综合热分析仪、扫描电镜、X射线衍射仪和紫外可见光谱仪等仪器对复合材料的结构及理化性质进行表征和分析。以紫外光(UV)照射下复合材料对甲醛的降解率为指标考察光催化活性,探讨煅烧温度、GO质量分数、La质量分数对复合材料光催化性能的影响。结果表明,GO/Ti O_2复合材料对甲醛的降解率高于纯TiO_2,La的掺杂进一步提高了复合材料的光催化效率。煅烧温度为500℃,GO的质量分数为9%,La的质量分数为5%时复合材料对甲醛的降解率最佳,达到87.5%。  相似文献   

18.
采用溶胶-凝胶法将纳米TiO2负载在活性碳纤维上,制备出一种新型甲醛气体清除材料。在制备中依次掺杂Fe3+和十二烷基苯磺酸钠(SDBS)对纳米TiO2进行改性,研究了纳米TiO2光催化活性的变化,并测试了自制材料的甲醛清除效率。结果表明:Fe3+和SDBS的添加不会改变纳米TiO2的晶型结构,但有利于晶粒的成长和负载膜的光催化活性;添加体积分数分别为0.8%的Fe3+和3%的SDBS时,材料的甲醛清除效率最高。  相似文献   

19.
用适宜载体将粉体材料固定是提高光催化材料稳定性的关键。采用溶胶-凝胶法,以钛酸丁酯为原料,选取活性炭纤维(ACF)为载体,制备了TiO2/ACF复合光催化材料。利用X射线衍射仪(XRD)、热分析仪(DSC-TG)和扫描电子显微镜(SEM)等测试技术对复合光催化材料的结构进行了表征分析。在紫外光照射下,通过对甲醛气体的光催化降解,考察了煅烧温度、煅烧时间、负载次数和负载时间等不同制备条件对复合光催化材料结构和性能的影响,结果表明:当煅烧温度为400℃,煅烧时间为2h,负载3次,负载时间为6min制备的TiO2/ACF光催化性能最佳。  相似文献   

20.
利用溶胶凝胶法制备TiO2溶胶,然后浸渍到活性炭(AC)上制得负载型TiO2/AC复合光催化剂,用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和X-射线衍射对其进行了分析表征。TiO2/AC复合光催化剂对CNCl和Freon-22的吸附光催化具有较高的能力。AC为TiO2提供了高浓度环境从而促进了反应速率。  相似文献   

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